麦锴MEMS压电微镜产品介绍

本产品是针对基于ToF和FMCW技术的MEMS激光雷达对高性能扫描模组的需求，研制的大转角系列MEMS微振镜，用以实现对激光光束的快速偏转以及高精度调制。在车载激光雷达、工业3D成像中具有广泛的应用价值，亦可拓展至激光加工、激光通信等领域。

本系列产品扫描角度达60°以上，并搭配5-8mm的光学口径完成激光信号的高效率收发，实现大视场角内的高精度成像。

本产品是针对基于Raster和Lissajous的激光扫描成像模组的需求，研制的谐振式MEMS微镜。产品包括单轴系列和双轴系列，可独立或双镜配合使用来实现不同的扫描模式。

器件镜面直径覆盖0.8~2mm以匹配激光光斑大小，器件频率可达数十千赫兹，成像分辨率超720p。相较于传统的投影技术，基于本产品的激光扫描成像系统具有体积小、分辨率高、亮度高等特点，可广泛应用于各种LBS成像系统，如AR/MR头显、车载HUD、微型投影仪等领域，是新型投影显示的核心技术。

本产品是针对基于高精度捕获、指向、跟踪的空间激光通信对高性能精瞄模组的需求，研制的一款基于MEMS技术的快反镜器件。可在长距离的卫星之间建立高精度、稳定、快速的激光通信链路，实现信息快速高效传递。

本产品基于自主知识产权MEMS压电驱动技术，器件采用宇航级气密封装，定位精度≤1微弧度，片上集成角度传感器可实现镜面位置的精确控制。产品通过了宇航级的力学、温度以及辐照测试，已完成五十亿次加速寿命试验，填补国内相关领域的空白，达到国际先进水平。