多项核心技术突破
麦锴公司凭借自主研发的、国际领先的MEMS快反镜技术，为我国空间激光通信网络的建设提供了坚实的支撑
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镜面尺寸1~15mm，谐振频率0.1~30 kHz
专业自主的MEMS
结构设计独特的双层堆叠MEMS架构，结合高效能隐藏式压电致动器协同设计，构筑高频高占空比的大口径微镜产品。
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RMS面型≤20 nm@10mm
独有的面型修调技术
晶圆级纳米尺度面型修调工艺，与多层复合薄膜应力控制技术相结合，开拓高径厚比MEMS镜面的高面型精度制备方法。
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重复精度≤2 μrad@3σ，开环线性度≥99.9%，开环控制带宽≥2 kHz
先进的压电驱动技术
先进的准单晶高掺杂压电功能薄膜致动技术，协同二阶上电驱动算法，实现准静态模式下的高精度低延迟定位。
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200余亿次全量程加速寿命实验无衰减
高可靠协同设计
高稳定性单晶硅衬底，结合抗冲击MEMS结构设计，以及高可靠性封装，确保宇航级寿命及可靠性。
生产完全自主可控
麦锴MEMS产品设计源于传感技术国家重点实验室原创专利技术；生产依托国内领先、国际先进的8英寸MEMS量产平台，完成ISO9001/14001/45001体系认证；封装、测试依托高标准自主产线；产品已通过多项权威机构测试，是国内真正技术先进、自主可控的原创MEMS压电微镜产品。
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8寸 MEMS
先进MEMS制造平台
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5 ＋
质量体系达标
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10 ＋
自主知识产权
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领先研发平台
基于国内领先
国际先进的MEMS研发平台
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重点实验室原创技术
依托中科院创新体系及国家重点
实验室原创技术
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传感器技术平台
集芯片加工、封装、测试完整能力
于一体的传感器技术平台
