产品可靠性

MEMS快速反射镜已完成连续4百余天、偏转两百余亿次的加速循环寿命试验，器件各项指标无衰减，满足宇航级在轨工作寿命指标。

MEMS快速反射镜完成了100 krad剂量的存储辐照以及30 krad剂量的上电辐照测试，辐照前后工作性能保持稳定，满足不同轨道高度的使用需求。

硅基器件及压电驱动材料带来优异的温度稳定性，MEMS微镜在-40~+120范围内谐振频率、转角范围、偏转精度等关键参数具有全温区稳定性。