 
                                                 
                                            MMS223
产品概述
快反镜MMS223系列产品,镜面直径为5mm,是基于MEMS工艺制造而成的用于低轨卫星或机载、船舶激光通信的快反镜产品。作为激光通信终端的核心部件,它具有重量轻、体积小、功耗低、面型好、寿命长无疲劳衰减等特点,可替代上一代压电陶瓷快反镜。
MMS223-选型表
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                                                                产品名称
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                                                                产品图片
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                                                                            镜面直径
 (mm)
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                                                                            驱动方式
 
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                                                                            面型RMS
 (nm)
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                                                                            面型RMS
 (λ@632nm)
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                                                                            谐振频率
 (kHz)
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                                                                            机械偏转角
 (mrad@55V)
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                                                                            角度线性度
 
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                                                                            重复定位精度
 (μrad)
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                                                                            镜面镀层
 
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                                                                            镜面反射率
 (@1550nm)
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                                                                            封装尺寸
 (mm)
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                                                                            最大工作电压
 (V)
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                                                                            标准功耗
 (mW)
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                                                                5 准静态 ≤30nm ≤1/20 0.5 X轴:±10.7 
 Y轴:±10.799.9% ≤10 Au 97.5% 35 x 35 x 6 ±110 120 
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                                                                5 准静态 ≤30nm ≤1/20 0.7 X轴:±7 
 Y轴:±799.9% ≤10 Au 97.5% 41 x 41 x 5.5 ±110 120 
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                                                                5 准静态 ≤30nm ≤1/20 0.55 X轴:±12 
 Y轴:±1299.9% ≤10 Au 97.5% 41 x 41 x 5.5 ±110 120 
 
        
         
     
                                                                                 
                                                                             
                                                                             
                                                                            