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  • 微机电系统技术(MEMS)
    传感器专业制造商

  • 下一代大口径压电MEMS
    快反镜提供商

了解麦锴全系列产品

麦锴科技拥有MEMS压电微镜的自主设计、制造工艺与封装测试等全套核心技术,可以提供覆盖激光通信、激光雷达、激光扫描等多应用场景的微镜产品开发技术

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  • 激光通信

    麦锴公司凭借自主研发的、国际领先的MEMS快速反射镜技术,为我国空间激光通信网络的建设提供了坚实的支撑。这款高性能的MEMS快速反射镜,具备小型化、轻量化、低功耗、高精度和快速响应等卓越特性,成为了实现远距离稳定激光通信链路的首选方案。

  • 激光雷达

    麦锴的大角度MEMS振镜在激光雷达(Lidar)应用领域展现出了独特的优势。其体积小、速度快、角度大、功耗低和精度高等优点,使其成为Lidar系统提升性能和降低成本的理想选择,实现了更快速、更准确的数据采集和点云图像的生成,为无人驾驶、环境监测、地图绘制等领域的应用提供了崭新的解决方案。

  • 激光投影

    麦锴高频MEMS微振镜具备频率高、功耗低、体积小、重量轻等优势,基于李萨如扫描方式可以实现720P以上的显示分辨率,可以在轻量级VR、AR、XR或者是微型投影仪上发挥关键部件的作用,是未来激光投影的主要技术路线之一。

  • 科学研究

    麦锴的大角度MEMS振镜在激光雷达(Lidar)应用领域展现出了独特的优势。其体积小、速度快、角度大、功耗低和精度高等优点,使其成为Lidar系统提升性能和降低成本的理想选择,实现了更快速、更准确的数据采集和点云图像的生成,为无人驾驶、环境监测、地图绘制等领域的应用提供了崭新的解决方案。

  • 激光通信

  • 激光雷达

  • 激光投影

  • 科学研究

核心技术

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  • 专业自主的MEMS结构设计

    独特的双层堆叠MEMS架构,结合高效能隐藏式压电致动器协同设计,构筑高频高占空比的大口径微镜产品。

    镜面尺寸1~15mm,谐振频率0.1~30 kHz

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  • 独有的面型修调技术

    晶圆级纳米尺度面型修调工艺,与多层复合薄膜应力控制技术相结合,开拓高径厚比MEMS镜面的高面型精度制备方法。

    RMS面型≤20 nm@10mm

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  • 先进的压电驱动技术

    先进的准单晶高掺杂压电功能薄膜致动技术,协同二阶上电驱动算法,实现准静态模式下的高精度低延迟定位。

    重复精度≤2 μrad@3σ,开环线性度≥99.9%,开环控制带宽≥2 kHz

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  • 高可靠协同设计

    高稳定性单晶硅衬底,结合抗冲击MEMS结构设计,以及高可靠性封装,确保宇航级寿命及可靠性。

    200余亿次全量程加速寿命实验无衰减

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  • 自由·责任

  • 坦诚·沟通

  • 学习·创新

麦锴持续创新,
满足不同行业的多样化需求

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咨询热线

021-59947176
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